Пьезорезистивный датчик давления
Тензорезистор является одним из основных компонентов пьезорезистивного тензодатчика. Принцип работы металлического тензорезистора основан на явлении, что сопротивление тензорезистора, адсорбированного на подложке, изменяется при механической деформации, широко известном как эффект сопротивления деформации.
Керамический датчик давления
Керамический датчик давления основан на пьезорезистивном эффекте. Давление действует непосредственно на переднюю поверхность керамической диафрагмы, вызывая небольшую деформацию. Толстопленочный резистор-напечатан на задней стороне керамической диафрагмы, образуя мост Уитстона. Благодаря пьезорезистивному эффекту пьезорезистивного резистора мост генерирует высоколинейный сигнал напряжения, пропорциональный давлению, а также пропорциональный напряжению возбуждения. Стандартные сигналы калибруются до 2,0/3,0/3,3 мВ/В и т. д. в зависимости от диапазона давления и совместимы с тензодатчиками.
Диффузионный кремниевый датчик давления
Принцип работы диффузионного кремниевого датчика давления также основан на пьезорезистивном эффекте. Используя этот принцип, давление измеряемой среды воздействует непосредственно на диафрагму датчика (из нержавеющей стали или керамики), вызывая микро-смещение диафрагмы, пропорциональное давлению среды. Это приводит к изменению сопротивления датчика. Электронная схема обнаруживает это изменение и выдает стандартный измерительный сигнал, соответствующий этому давлению.
Сапфировый датчик давления
В этом датчике используется принцип тензодатчика, в качестве полупроводникового чувствительного элемента используется кремниевый-сапфир, обладающий непревзойденными метрологическими характеристиками. Поэтому полупроводниковые чувствительные элементы из кремний-сапфира нечувствительны к изменениям температуры и демонстрируют отличные рабочие характеристики даже при высоких температурах; сапфир обладает сильной радиационной стойкостью; кроме того, кремниевые-сапфировые полупроводниковые чувствительные элементы не имеют p-n дрейфа.
Пьезоэлектрический датчик давления
Пьезоэлектрический эффект является основным принципом работы пьезоэлектрических датчиков. Пьезоэлектрические датчики нельзя использовать для статических измерений, поскольку заряд после приложения внешней силы сохраняется только тогда, когда цепь имеет бесконечное входное сопротивление. Поскольку на самом деле это не так, пьезоэлектрические датчики могут измерять только динамическое напряжение.